無油真空泵機組是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵。它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
它具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛獲得真空的基本設備。
無油真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室常備的設備之一。
因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。最后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質才能滿足需求。
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